圖文詳情
優點特征
吸入效率(提升15%)。
排氣效率改善(2級可變，連續可變頻率)。
極限壓力：1*10-2Torr(托)。
排氣溫度降低50%。
電力消耗減少30%。
不使用油和水，不會造成油和水的污染。
低功耗、低噪音、低振動，動平衡好，沒有慣性力，可高速運行。
設計結構簡單，易保養，維修費用低，沒有易損件，壽命長。
適用范圍廣，具有高真空性能。
使用壽命長，氣體接觸部位都具有聚四氟乙烯、鎳和哈氏合金涂層。
不采用機械密封，密封部件無污染，不會因污染而頻繁發生故障。
前后采用稀有潤滑方式，提高軸承耐用性。
標準配件
基座和防護罩
排氣消聲器及進氣分離器
吸氣口
止回閥
真空計
可選配件
吸濾器
排氣冷凝器
吸入式氣液分離器
流量開關及溫度開關
ESDP干式螺桿泵的應用范圍
ESDP系列在半導體合成及液晶生產上的應用，主要有半導體等離子增強氣相沉淀(PECVD)和反映離子刻蝕(RIE)工藝，液晶生產蝕刻制程和生產TFT熒幕電漿(PLASMA)的CVD制程中。此工藝要求返流為0，以保護工件免受污染。
在石油化工中，主要是抽取可凝性氣體，或有毒氣體，或腐蝕性氣體，或含有微塵的氣體。
制藥行業，用于藥物的真空干燥，藥物中間體回收，回收氣體消毒劑，為人造器官提供清潔無菌條件等。
化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收，例如萃取回收丙酮，多元醇等工藝
工業排氣;集中式真空處理系統
擠出機的混合工藝及板材的排氣工藝
混合樹脂脫腥工藝;在脂肪酸生產中用于消除水污染，及噴射器中的阻塞物
食品行業用于香料、香精濃縮，食品包裝等。
技術參數
| 型號 | 抽氣量 | 極限 壓力 |
電機 功率 |
轉速 | 進氣 | 排氣 | 冷卻 水量 |
噪聲 | 重量 |
| M³/h | Pa | KW | rpm | mm | mm | L/min | dB | Kg | |
| ESDP320 | 260 | 1.33 | 7.5 | 2900 | 65 | 50 | 10 | 80 | 320 |
| ESDP430 | 360 | 1.33 | 11 | 2900 | 65 | 50 | 12 | 80 | 380 |
| ESDP650 | 540 | 1.33 | 15 | 2900 | 80 | 65 | 12 | 80 | 580 |
| ESDP900 | 750 | 1.33 | 18.5 | 2900 | 100 | 65 | 20 | 80 | 680 |
| ESDP1500 | 1400 | 1.33 | 37 | 2900 | 125 | 80 | 30 | 82 | 950 |
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